抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。分类按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。